半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點

廢氣工程：由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。

排風口設計標準:室內(nèi)進氣保持潔凈

排風口設計標準：在排風口要裝有空氣過濾器，還有就是送風口上裝過濾靜壓箱，這樣就可以實現(xiàn)室內(nèi)進氣保持潔凈，且更換過濾器也方便；室內(nèi)送、排風的時候基本采用上送下排的形式，排風口要設在室內(nèi)可能被污染的區(qū)域，采用單側(cè)布置，設置的時候不得有任何障礙，這樣就保證了風源的潔凈。窗簾要求：在設計的時候，傳遞窗可為全不銹鋼材質(zhì)制備，采用機械聯(lián)鎖控制裝置，其內(nèi)部要有滅菌設備。

電子廠房的潔凈車間都要求潔凈度和室內(nèi)空氣參數(shù)

電子廠房的潔凈車間都要求潔凈度和室內(nèi)空氣參數(shù)，電子廠房裝修步驟中要注意車間潔凈度的要求級別是千級、萬級還是十萬級，潔凈度不同選用的材料和設備是不一樣的。室內(nèi)空氣參數(shù)包括溫濕度要求、新風量和送風量。這類電子車間內(nèi)人員比較多，為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度和溫濕度，新風量和送風量的要求都比較大。

電子廠房裝修步驟中要還要注意的是頂部，電子廠房的頂部一般都比較高，大多數(shù)都是鋼結(jié)構(gòu)框架，在裝修頂部時先要合理安排設計消防、通風、及中央空調(diào)。如果要吊頂?shù)模杩紤]吊頂材料，通過我們可以選擇礦棉吸音板、石膏板、鋁塑板等材料作為吊頂材料。