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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
什么是光刻掩模板
在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu),稱為光刻掩模版。
半導(dǎo)體集成電路制作過程通常需要經(jīng)過多次光刻工藝,在半導(dǎo)體晶體表面的介質(zhì)層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導(dǎo)電層上刻蝕金屬互連圖形。光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能套準(zhǔn)的、具有特定幾何圖形的光復(fù)印掩蔽模版。
實(shí)體結(jié)構(gòu):布滿集成電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。倍縮光掩模(Reticle):當(dāng)鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為倍縮光掩模,通常圖型要放大4倍、5倍或10倍。光掩模(Mask):當(dāng)鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個(gè)晶圓時(shí)稱之為光罩。
石英掩膜版
蘇達(dá)掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版