卸出石墨舟后的石墨化爐，先將石墨化冶金焦取出來，并用鐵棍砸碎已結(jié)成硬塊的爐底料(每次約有100-200毫米厚），取出廢爐底料并另換新料。立裝法的爐子兩側(cè)保溫料，如沒有倒塌而又絕緣狀況較好，可以重復(fù)利用，但應(yīng)將表面沾有石墨粉的部份鏟去。

爐子的使用壽命與操作和維護(hù)有著密切的關(guān)系。使用與維護(hù)得好的右墨化爐可以連續(xù)生產(chǎn)兩年之久;使用與維護(hù)不好，有可能只生產(chǎn)幾爐就毀壞。

PE鍍膜后四周發(fā)白淺析，近期經(jīng)常接到客戶咨詢，石墨舟鍍膜后發(fā)現(xiàn)膜后的片子四周發(fā)白或四周發(fā)紅。并且如果是新舟直接用就沒有這個問題，用了循環(huán)后，清洗后就會發(fā)現(xiàn)這個問題。

這次就問題發(fā)生的原因做一個說明，并且給大家一些解決方法。

一般來說我們機(jī)臺出現(xiàn)問題基本上為三類，偏紅，正常藍(lán)，偏白（對應(yīng)表中的淡藍(lán)色，無明確的白色膜厚，此時的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常規(guī)的灰白色，通過一定的化學(xué)反應(yīng)在片子表面生成一層膜。片子工藝結(jié)束后，就會得到我們需要的工藝顏色。

進(jìn)口石墨是原子晶體、金屬晶體和分子晶體之間的一種過渡型晶體。在晶體中同層碳原子間以sp2雜化形成共價鍵，每個碳原子與另外三個碳原子相聯(lián)，六個碳原子在同一平面上形成正六邊形的環(huán)，伸展形成片層結(jié)構(gòu)。在同一平面的碳原子還各剩下一個p軌道，它們互相重疊，形成離域的π鍵電子在晶格中能自由移動，可以被激發(fā)，所以石墨有金屬光澤，能導(dǎo)電、傳熱。由于層與層間距離大，結(jié)合力（范德華力）小，各層可以滑動，所以石墨的密度比金剛石小，質(zhì)軟并有滑膩感。