真空機(jī)組對機(jī)組的要求

超高真空抽氣機(jī)組超高真空抽氣機(jī)組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內(nèi),除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經(jīng)受200~450℃高溫烘烤外,對機(jī)組的要求還有:

(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。

(2)在超高真空的工作壓力范圍內(nèi)主泵應(yīng)具有一定的抽速。

(3)機(jī)組的主泵或主泵進(jìn)氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。

(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。

(5)對被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵,要配備足夠大的輔助泵。

(6)機(jī)組主泵進(jìn)氣口以上的管道、閥門等部件,對材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。

真空機(jī)組工藝簡介

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的中心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)中心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵中心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜。2）真空機(jī)組零部件由于形狀因素等，其銳邊、尖角可能對人身造成的刺傷或扎傷危險。

真空機(jī)組風(fēng)險分析，使用真空機(jī)組需要注意什么？

（1）容器炸裂

真空機(jī)組未配備排氣壓力監(jiān)控裝置或壓力調(diào)節(jié)閥，可能導(dǎo)致機(jī)組內(nèi)壓力過高導(dǎo)致容器炸裂的事故發(fā)生。

（2）機(jī)械傷害、物體打擊

1）真空機(jī)組工作過程中其運動部件，對人身可能造成擠壓、纏繞、引入或卷入、沖擊等危險。

2）真空機(jī)組零部件由于形狀因素等，其銳邊、尖角可能對人身造成的刺傷或扎傷危險。

3）真空機(jī)組零部件在使用過程中，由于松動、脫落或折斷、碎裂、甩出等可能造成的沖擊、拋射危險。