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電子元件和電路組件的共形涂層必須滿足電絕緣和環(huán)境防護(hù)要求
電子元件和電路組件的共形涂層必須滿足電絕緣和環(huán)境防護(hù)要求。不斷小型化的電子產(chǎn)品對絕緣涂層的性能提出了更高的要求,部分原因是涂層機(jī)械體積與電路功能之間的關(guān)系,絕緣性涂層更重要的特點(diǎn)是涂敷的完整性和均勻性,以及它在物理、電氣、機(jī)械、屏蔽方面的性能。 Parylene涂層,其性能可以滿足電路組件的涂層需要。這些透明的聚合物實(shí)際上是高結(jié)晶和線性的,具有優(yōu)異的介電和屏蔽性能,以及化學(xué)惰性,而且致密無。
Parylene氣相沉積涂敷工藝
在微電子領(lǐng)域,近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快,真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層,而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外,在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene,更被國外集成電路研究者所青睞,用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí),在工作上有很強(qiáng)的滲透性,能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中,真正形成完全敷形,均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑,即使在0.1微米厚也沒有,氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜,沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力,對工件能進(jìn)行表面加固,但不會引起傷害,也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。
Parylene涂敷屬于氣相沉積,整個(gè)生產(chǎn)過程不存在液態(tài)
Parylene涂敷屬于氣相沉積,整個(gè)生產(chǎn)過程不存在液態(tài),因此涂層也不存在通常液體涂層所很難避免的邊角效應(yīng)及流掛現(xiàn)象。Parylene高度同形性, 底面、內(nèi)表面、邊緣及側(cè)面均勻涂層。在整個(gè)Parylene聚合過程中不會釋放溶劑,因?yàn)樵撨^程在環(huán)境溫度下進(jìn)行,涂層或裹有涂層的物體內(nèi)不會產(chǎn)生熱應(yīng)力、機(jī)械應(yīng)力或化學(xué)固化應(yīng)力。與液體涂層不同,Parylene的涂敷具有一致性,因而它對基材表面的作用能多次重復(fù),可以預(yù)見。由于沉積過程中充滿氣體,涂層材料在使用時(shí)就不會產(chǎn)生固化應(yīng)力。
近年來在傳感器表面鍍膜parylene已經(jīng)成為一種趨勢,經(jīng)parylene鍍膜防護(hù)的傳感器包括汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學(xué)傳感器、聲學(xué)傳感器、生物醫(yī)學(xué)電極和植入傳感器等等,Parylene對傳感器的保護(hù)除了絕緣防護(hù)外,更多是用做惡劣環(huán)境防護(hù)材料。