Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領域，近些年Parylene應用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時，在工作上有很強的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應力，對工件能進行表面加固，但不會引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

       作為電子電路的防護涂層，Parylene不需另加防霉劑，自己防霉能達零級。在鹽霧實驗中，與其它涂層相比，Parylene防護的電路電阻幾乎不降落，其它涂層則都有較大的降落。很薄的Parylene涂層能提供的防護性能，還有利于電路板工作熱量的消失，因此作為防護涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性，分外是小型高密集度電子電路的防護，Parylene更表現出其獨到的上風。

派瑞林涂層材料與派瑞林鍍膜加工有哪些優(yōu)勢？

       派瑞林涂層材料，厚度均勻的透明絕緣涂層，給元件提供一個完整的防護涂層，抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣件的侵害。而派瑞林鍍膜加工，使物件外表鍍制金屬膜層，將有機資料和無機資料結合起來，提高了它的物理性能以及改變產品外觀。

       東莞菱威納米，作為【派瑞林】行業(yè)的創(chuàng)新者和開拓者，致力于【真空納米鍍膜技術】及【鍍膜設備】的生產和研發(fā)，帶領商業(yè)模式變革，建立從基礎研究、工程化設計、產業(yè)化生產的全產業(yè)鏈平臺，通過自主創(chuàng)新、自主研發(fā)，實現工業(yè)4.0產業(yè)革命，努力打造自動真空鍍膜產線，成為智能化、自動化、工程化的【派瑞林鍍膜】一站式解決方案供應商。

       Parylene是一種化學惰性好又具有良好生物相容性的高純涂層材料, 美國FDA認可，用于各類體內植入，經它涂敷的器件可改善表面潤滑性、生物相容性，提高可靠性。不需要經升溫固化過程，室溫下成膜，不需要催化劑，因此生物傳感器、骨釘、骨板、心臟起搏器等植入性器件經Parylene 涂敷可改善生物相容性，提高在生物環(huán)境中工作的可靠性。導尿管經Parylene涂敷后可提高潤滑性。

       助聽器：派瑞林對外置助聽器的電子元件部分尤其有用，因為這些裝置已從模擬形式向數字形式轉變，并且一般由計算機編程。當聽力學醫(yī)生或技師調節(jié)裝置時，電池被取出，一根電纜被 入電池室中一個的連接器，該連接器與計算機相連。對裝置的所有調整均由計算機和程序控制。除了電池之外，一般沒有外置控件或與這些裝置的接觸。由于不存在外置的人工調節(jié)轉盤或控件，這些電子組件可以采用派瑞林涂層。