特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動切換，自動氮?dú)獯祾?，自動真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；特種氣體系統(tǒng)：氣體房的選擇和設(shè)計除了簡單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都獨(dú)立于主場房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣制取方法

高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料，吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多，欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；其現(xiàn)場基本的施工程序?yàn)椋菏┕D紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機(jī)具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗(yàn)收。冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒，且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì)，除少數(shù)稀有氣體外，幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑，以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。

特種氣體有哪些？

特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游1行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料，被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”，現(xiàn)有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。輔助系統(tǒng)的設(shè)計氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝?，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻?