有機(jī)高純氣體

烷烴類：（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環(huán)丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟（CHF3）、環(huán)氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等

2）使用時，首先要做外部檢查，檢查重點是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發(fā)現(xiàn)有漏氣、滑扣、表針動作不靈或“爬高“等，應(yīng)及時維修，切忌隨便處理。禁止帶壓擰緊閥桿，調(diào)整墊料。檢查漏氣時應(yīng)用肥皂水，不得使用明火。氣瓶與電焊在同一場使用時，瓶底應(yīng)墊上絕緣物，以防氣瓶帶電。在接近屋頂?shù)纳喜坎荒苡谢鹪春碗娫?，在設(shè)置電源時應(yīng)盡量考慮布置在下方。與氣瓶接觸的管道和設(shè)備要有接地裝置，防止由于產(chǎn)生靜電造成燃燒或爆l炸。冬季使用電瓶時，瓶閥或減壓器可能出現(xiàn)結(jié)霜現(xiàn)象，或用熱水或蒸汽解凍，嚴(yán)禁用火烘烤或用鐵器敲擊瓶閥，也不能猛擰減壓器的調(diào)節(jié)螺絲，以防氣體大量沖出造成事故。

5.表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內(nèi)表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。日本高爐節(jié)能技術(shù)的發(fā)展最近幾年，高爐的內(nèi)部容積已經(jīng)逐漸增大，因此需要更大的負(fù)載能力。

6.抗腐蝕性

微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發(fā)生安全事故。