質(zhì)量流量計(jì)是一種重要的流量測(cè)量?jī)x表，也是平時(shí)測(cè)量中運(yùn)用比較多的測(cè)量?jī)x器，因此對(duì)質(zhì)量流量計(jì)用途特點(diǎn)了解?能夠幫助測(cè)量者更好的測(cè)量。

氣體質(zhì)量流量計(jì)通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來(lái)表示，質(zhì)量流量單位規(guī)定為: SCCM --- 標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 , SLM --- 標(biāo)準(zhǔn)升/分標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指：溫度—0℃, 氣壓—101325Pa(760mm Hg)。因?yàn)樵跇?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數(shù)，密度乘以體積流量就等于質(zhì)量流量，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器在使用過(guò)程中，無(wú)論工作氣體的溫度、壓力如何變化，它所顯示的流量總是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量。這是質(zhì)量流量計(jì)的主要優(yōu)點(diǎn)。

用途和特點(diǎn)：質(zhì)量流量控制器 (MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）僅用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 微電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn), 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。www.bronkhorst-china.com