潔凈廠房無塵室測(cè)試目的是什么呢?其中很大部分業(yè)主都是根據(jù)凈化工程開始的設(shè)想來完成測(cè)試的指標(biāo)，當(dāng)然這是直截了當(dāng)?shù)哪繕?biāo)及方法，畢竟我們?cè)诮ㄔO(shè)無塵室的意愿也是如此，要達(dá)到我們的空氣潔凈度有需求。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。在單流向型無塵室，風(fēng)速測(cè)量的位置可由業(yè)主預(yù)定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)量（濾網(wǎng)表面）或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測(cè)量（工作高度）。潔凈廠房，無塵室，潔凈室--潔凈廠房無塵室測(cè)試目的。

    無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

     影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，負(fù)離子檢測(cè)儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。

    潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實(shí)地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行，并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)為2～3天，其他區(qū)域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)為2～3天，其他區(qū)域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。