由于選用物理氣相堆積工藝可大幅度進(jìn)步刀具的切削性能，人們?cè)诟?jìng)相開發(fā)、高可靠性設(shè)備的一同，也對(duì)其運(yùn)用范疇的擴(kuò)展，尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類刀具中的運(yùn)用進(jìn)行了愈加深化的研究。

化學(xué)氣相堆積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體，憑仗氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng)，在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法，首要包含常壓化學(xué)氣相堆積、低壓化學(xué)氣相堆積和兼有CVD和PVD兩者特點(diǎn)的等離子化學(xué)氣相堆積等。

光學(xué)鍍膜所觸及的制造工藝是勞作和資本密集型的，并且非常耗時(shí)。影響鍍膜本錢的因素包括被鍍膜的光學(xué)件的數(shù)量，類型，尺寸，需求鍍多少層膜以及光學(xué)件上需求鍍膜的外表數(shù)量。鍍膜選用的堆積工藝對(duì)鍍膜本錢以及鍍膜功能方面的影響也非常巨大。此外，在這之前還需求做大量的準(zhǔn)備作業(yè)，以保證每個(gè)鍍膜光學(xué)件的質(zhì)量都能達(dá)到較高水平。

使用前各電源開關(guān)及操作按鈕應(yīng)處于斷開位置，接通水源，氣源，電源。

1）打開真空控制電源開關(guān)。

2）開維持泵對(duì)擴(kuò)散泵抽低真空，并測(cè)量前級(jí)真空度。

3）待前級(jí)壓力達(dá)到5.0*10pa后，開擴(kuò)散泵加熱。

4）開充氣閥，對(duì)鍍膜室充氣，打開鍍膜室門，裝好清洗干凈的工件，關(guān)好爐門。

5）待擴(kuò)散泵正常工作一小時(shí)后，開機(jī)械泵開預(yù)抽閥，對(duì)真空室手抽真空至1.0*103pa，然后開羅茨泵。