真空泵維修說明事項(xiàng)，泵的極限壓力是在真空計(jì)（麥?zhǔn)险婵沼?jì)）測(cè)得的分壓強(qiáng)值，如用熱偶真空計(jì)、電阻真空計(jì)等全壓強(qiáng)計(jì)測(cè)，其真空值至少要低一個(gè)多數(shù)量級(jí)。萊寶真空泵維修前的準(zhǔn)備工作，真空泵需放置在地面平整處，確保環(huán)境通風(fēng)干燥，真空機(jī)組抽氣口與被抽系統(tǒng)連接好后，確保密封嚴(yán)密，沒有泄露現(xiàn)象。泵抽除含氧過高、對(duì)金屬有腐蝕作用的、與真空泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體或有機(jī)容劑等，請(qǐng)務(wù)必在被抽系統(tǒng)與真空泵之間串聯(lián)一相應(yīng)的過濾器或干燥劑，以確保真空泵正常使用。為確保真空儀器真空后的安全可靠，在真空泵與真空儀器之間必須裝置一閥門開關(guān)（真空儀器本身帶有開關(guān)的除外）

旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。3保護(hù)類型IP55IP553IP55IP553額定轉(zhuǎn)速min。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、輕工、石油等生產(chǎn)和科研部門。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。

旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。BOXER900采用更大體積的腔室，在產(chǎn)量方面經(jīng)過優(yōu)化，且可滿足大批量的生產(chǎn)需求。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。

近年來, 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動(dòng), 多級(jí)羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。但如果使用單位有維修力量并想降低費(fèi)用，可以自行做一些保養(yǎng)工作。多級(jí)羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡(jiǎn)單、清潔無油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計(jì)理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計(jì)算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動(dòng)等難點(diǎn)問題, 制約了多級(jí)羅茨干泵研制和生產(chǎn)。

在旋片真空泵螺桿泵維修過程中，還必須檢查橡膠密封的老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，并清理掉沉積在閥片和排氣閥座上的污垢。不能盤動(dòng)或盤起來很重的，原因可以是因?yàn)槠饎?dòng)泵溫太低，泵油粘度太高。清潔真空泵室內(nèi)的所有零件，如彈簧、轉(zhuǎn)子等。通常，它用氣油清洗并干燥。清潔橡膠部件后，用干布擦干。清潔和組裝時(shí)，小心輕放，小心輕放，避免碰撞。萊寶螺桿泵維修拆卸后，需要重新組裝后投入試運(yùn)行，一般情況下，應(yīng)在無空氣的情況下運(yùn)行2小時(shí)，并應(yīng)更換兩次機(jī)油。由于真空泵在清洗過程中會(huì)留有一定量的揮發(fā)性物質(zhì)，正常運(yùn)行后應(yīng)投入正常運(yùn)行。