真空納米鍍膜機(jī)設(shè)備的主要用途

(1)各種功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低溫沉積氮化硅減反射膜，以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

(2)裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用，如各種全反射膜及半透明膜等，如手機(jī)外殼，鼠標(biāo)等。

(3) 在微電子領(lǐng)域作為一種非熱式鍍膜技術(shù)，主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)

(4)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)生長困難及不適用的材料薄膜沉積，而且可以獲得大面積非常均勻的薄膜。

磁控濺射除上述已被大量應(yīng)用的領(lǐng)域，還在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用。

在真空條件下加熱工件，主要依賴輻射。由于輻射傳熱與溫度的4次方成比例，所以在850℃以下輻射效果不高，工件加熱速度很慢；其次，因?yàn)榻饘俨牧现械哪承┖辖鹪卦诘蛪簵l件下加熱時(shí)有蒸發(fā)損失現(xiàn)象，會(huì)造成表面合金元素的貧乏，以致影響其淬火后的表面層性能。對(duì)流加熱技術(shù)是指先將真空鍍膜設(shè)備真空爐爐膛抽到一定真空度，然后通以0．1—0．2MPa的惰性（Ar、He）、中性（N2）或還原性（H2）氣體，并在充分?jǐn)噭?dòng)條件下施行加熱，與在單純真空條件下比較，加熱速度至少可提高一倍以上。

用真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝，不但能節(jié)省大量的膜材和降低能耗，而且還會(huì)消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。因此國外在鋼鐵零件涂鍍防腐層和保護(hù)膜方面，已采用真空鍍膜工藝來代替電鍍工藝。在冶金工業(yè)中，為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護(hù)層已很普遍；在機(jī)械制造業(yè)中，真空鍍膜工藝用于改變改變某些加工工藝和節(jié)約貴重的原材料，如飛機(jī)渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片已經(jīng)不用價(jià)格昂貴的耐高溫金屬制造，而是采用價(jià)格低廉易加工材料，成形后再用真空鍍膜的方法在葉片表面上加鍍耐高溫，耐腐蝕的防護(hù)層。