質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小。

MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě)，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的，簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng)，工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。

氣體質(zhì)量流量控制器的原理

體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)檢測(cè)溫度，另一個(gè)作為加熱器。這兩個(gè)元件和流量計(jì)內(nèi)的電路組成一個(gè)溫控系統(tǒng)，該溫控系統(tǒng)保持溫度檢測(cè)元件和加熱器之間的溫度值恒定。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系，來(lái)反映氣體的流量。

氣體質(zhì)量流量控制器的顯示方式

 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動(dòng)，人機(jī)界面，具有靈敏的反應(yīng)速度、易于交流、堅(jiān)固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前比較便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機(jī)交互方式,用戶只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標(biāo)或文字就能操作,給人們的生活帶來(lái)了很大的方便。

該產(chǎn)品呈現(xiàn)出多元化的趨勢(shì)，針對(duì)不同的用戶、不同的使用環(huán)境而出現(xiàn)了分體式、組合式、臺(tái)式、便攜式等多種類型。體積小巧、功能強(qiáng)大、功耗低，可內(nèi)置鋰電池或外置鋰電池，保證長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)行。