擴(kuò)散硅壓力傳感器

擴(kuò)散硅壓力變送器采用具有技術(shù)進(jìn)口陶瓷傳感器，再配以高精密電子元件，經(jīng)嚴(yán)格要求的工藝過(guò)程裝配而成。壓力變送器與使用的常規(guī)壓力變送器相比,有兩個(gè)顯著不同的技術(shù)差別：一是測(cè)量元件采用新興的高精密陶瓷材料；二是測(cè)量元件內(nèi)無(wú)中介液體，是完全固體的。

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擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂是怎么產(chǎn)生的？

溫漂：是指受溫度影響而引起的零點(diǎn)不穩(wěn)定。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂主要來(lái)源于兩個(gè)方面：

一方面是零部件本身的溫漂；

第二方面是傳感器在膨脹過(guò)程中產(chǎn)生的應(yīng)力，傳感器的核心器件是壓力芯片，壓力芯片本身對(duì)溫度就比較敏感，會(huì)隨著溫度的變化產(chǎn)生一定的漂移量；另外在封裝過(guò)程中，傳感器需要充灌硅油，以便把力從壓力膜片，傳導(dǎo)到壓力芯片上，硅油在溫度變化中，產(chǎn)生熱脹冷縮，從而產(chǎn)生一定的應(yīng)力，這個(gè)應(yīng)力作用到壓力芯片上，造成傳感器的漂移；還有就是壓力芯片，他是用膠和傳感器底座連接在一起的，由于壓力芯片和傳感器底座是兩種不同的材料，膨脹系數(shù)不一樣，所以在溫度變化中兩種不同膨脹系數(shù)的材料之間也會(huì)產(chǎn)生一定的應(yīng)力，從而產(chǎn)生一定的溫漂，這些是擴(kuò)散硅壓力傳感器溫漂的主要來(lái)源。

為在一定程度上減少壓力傳感器的溫漂，技術(shù)人員在設(shè)計(jì)壓力傳感器的過(guò)程中，要盡量減少充油芯體相及的體積，以減少充油的量，在粘接壓力芯片的過(guò)程中，盡量選用合適的膠，以減少粘結(jié)產(chǎn)生的應(yīng)力，傳感器底座材料的選擇，要考慮和壓力芯片，膨脹系數(shù)相近的材料，從而減少溫漂的產(chǎn)生。