傳統(tǒng)過濾器因為效率和壓降問題，不僅自身需要頻繁更換，且要消耗大量的風(fēng)能。而恒效運行的自動除塵凈化系統(tǒng)由于無需自動過濾器，機組壓力適中保持在15-20Pa，不消耗風(fēng)能。例如：一個約有1120m3空間欲做10萬等級的無塵車間，采用新技術(shù)只要采用5.5KW主機(造的起，用得起)，傳統(tǒng)模式需18KW主機。新技術(shù)可以做到不更換任何耗材三年后檢測數(shù)據(jù)等同于新機效果，開機時間持續(xù)越長潔凈度越高，這是傳統(tǒng)技術(shù)無法比擬的。

　微電子C/R建設(shè)費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。

對C/R而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致裂，但并不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而多面層流都是沖孔式。乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。凈化公司優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

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