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如何保證電子氣體的安全儲(chǔ)存
如何保證電子氣體的安全儲(chǔ)存、使用操作,系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計(jì),在眾多的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如,等都有很詳細(xì)的規(guī)定,目前中國(guó)國(guó)內(nèi)也正在起草針對(duì)電子特種氣體的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言,會(huì)根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性,將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物總量控制等等。針對(duì)輸送系統(tǒng),特別是系統(tǒng),因總量較大,應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動(dòng)噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng),需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
使用電子氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng),也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)(,酸性排風(fēng)系統(tǒng)(,溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(。換鋼瓶時(shí)的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無(wú)縫管。施工釆用自動(dòng)軌道焊接,經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測(cè)試。對(duì)于毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等,安全輸送系統(tǒng)(正在被廣泛使用。其鋼瓶?jī)?nèi)采用負(fù)壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測(cè)系統(tǒng)(是全廠生命安全系統(tǒng)(的重要組成部分。對(duì)于偵測(cè)器的要求,除了精度高,反應(yīng)迅速外,還應(yīng)具備自檢功能。
液氮容器的使用維護(hù)
液氮容器的使用維護(hù):
液氮罐要存放在通風(fēng)良好的陰涼處,不要在太陽(yáng)光下暴曬。由于其制造精密及固有的特性,無(wú)論在使用或存放時(shí),嚴(yán)禁液氮罐傾斜、橫放、倒置、堆壓、相互撞擊或與其他物件碰撞,要始終保持罐體直立。
用于長(zhǎng)期貯存時(shí),則需要定期補(bǔ)充液氮,補(bǔ)充時(shí)一般應(yīng)在液氮剩余量為總?cè)萘康娜种粸橐恕?
放進(jìn)或取出冷凍物品時(shí),要盡量使罐口打開(kāi)時(shí)間短,以減少液氮消耗,也不要把提筒完全提出來(lái)。
嚴(yán)禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。
嚴(yán)禁用硬物清除頸管內(nèi)的凍霜,以免損傷頸管。
氧的毒性
氧是空氣的主要成份之一,占正常空氣體積的21.0%,是一切動(dòng)植物內(nèi)的組成成份。氧參與有機(jī)體的各種代謝過(guò)程,是生命活動(dòng)必不可少的元素之一。但是,正常人體只需要一定濃度的氧,氧的濃度過(guò)高或過(guò)低都對(duì)人有害。氧的分壓過(guò)低會(huì)導(dǎo)致缺氧癥,氧的分壓過(guò)高會(huì)引起“氧中?。
在常壓下,氧的濃度超過(guò)40%時(shí),就會(huì)有發(fā)生氧中?的可能性。人的氧中?主要有兩種類型:1、肺型——主要發(fā)生在氧分壓為1~2個(gè)大氣壓,相當(dāng)于吸入氧濃度40%~60%左右。開(kāi)始時(shí),胸骨后稍有不適感,伴輕咳,進(jìn)而感胸悶、胸骨后燒灼感和呼吸困難、咳嗽加劇。嚴(yán)重時(shí)可發(fā)生水腫、窒息。2、神經(jīng)型——主要發(fā)生于氧分壓在3個(gè)大氣壓以上時(shí),相當(dāng)于吸入氧濃度80%以上。開(kāi)始多出現(xiàn)口唇或面部肌肉抽動(dòng)、面色蒼白、眩暈、心動(dòng)過(guò)速、虛脫、繼而出現(xiàn)全身抽搐、昏迷、呼吸衰竭而死。
高純管道在高純氣體輸送中的意義
常見(jiàn)氣體的種類 w* r% P( G( `5 K _* u, A& ~
電子行業(yè)中常見(jiàn)氣體的分類:/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O
普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮?dú)猓∟2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等