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無塵室無塵車間的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
先說什么是無塵室,無塵室就是把壓力,溫度,濕度,氣流的分布和塵埃還有速度,控制在一定范圍內(nèi)的一個(gè)空間。
而關(guān)于他等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)是依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),無塵室的等級(jí)是用在一定塵粒的尺寸的級(jí)數(shù)來表示的。制造集成電路所需要的無策劃你是的潔凈度就必須高于1000級(jí),聯(lián)邦規(guī)格的等級(jí)中Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個(gè)0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級(jí)○○]。比如說:等級(jí)10是指空氣中俺有10個(gè)0.5以下的時(shí)候。自然界大氣中一般含有的微粒是在300000到30000000個(gè)。
在jis的標(biāo)準(zhǔn)下,無塵室的潔凈度有8個(gè)等級(jí),也就是說:在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1;百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3,一次類推。而一般潔凈度就是指空氣的潔凈等級(jí)。
總之, 潔凈廠房的總圖設(shè)計(jì)是一個(gè)較為復(fù)雜的協(xié)調(diào)與組合過程, 設(shè)計(jì)前應(yīng)盡可能收集足夠的相關(guān)資料, 自始至終貫徹G M P 精神, 從潔凈要求, 方便生產(chǎn), 經(jīng)濟(jì)適用的角度出發(fā), 為下一步的廠房平面設(shè)計(jì)創(chuàng)造一個(gè)良好的條件。
這項(xiàng)工作應(yīng)以圍繞潔凈技術(shù)與生產(chǎn)工藝要求為中心展開, 對(duì)建筑空間進(jìn)行合理的限定、分割及定性。
G M P 要潔凈廠房的平面布局遵循以下原則: 平面布置合理、嚴(yán)格劃分區(qū)域、防止交叉污染、方便操作生產(chǎn)。
此外,系統(tǒng)顯示的控制信號(hào)有:新風(fēng)閥開度、預(yù)熱蒸汽閥開度、表冷器閥門開度、二次加熱器蒸汽閥開度、干蒸汽加濕器閥門開度、排風(fēng)機(jī)變頻器輸出頻率等。
凈化空氣處理機(jī)組控制器的控制功能除了常規(guī)控制(包括:送風(fēng)機(jī)的啟??刂?、排風(fēng)機(jī)啟??刂疲┕δ芡猓饕菧貪穸茸詣?dòng)控制功能和正壓自動(dòng)控制功能。
◆ 啟停控制:凈化空調(diào)啟??刂浦饕革L(fēng)機(jī)的啟動(dòng)和停止,包括送風(fēng)機(jī)(或值班風(fēng)機(jī))、排風(fēng)機(jī)。啟??刂品绞娇煞譃槌绦蜃詣?dòng)控制、程序手動(dòng)控制和手動(dòng)控制三種。
◆ 手動(dòng)控制:當(dāng)配電柜上的“手動(dòng)/ 自動(dòng)”轉(zhuǎn)換開關(guān)處于“手動(dòng)”狀態(tài)時(shí),若要操作風(fēng)機(jī),必須在控制柜上通過“啟動(dòng)”或“停止”按鈕控制設(shè)備啟停(此時(shí)自動(dòng)操作無效)。