Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護材料，而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

       Parylene的熱分解起源于苯環(huán)兩側的C-C鍵，通過將二上的H原子替換為F原子，就得到HT型Parylene，目前還未商品化，但HT型所擁有的大于420的使用溫度和的介電常數(shù)，使其在航空及半導體領域具有廣泛的應用前景尖銳的棱邊，裂縫里和內表面。

      Parylene采用了一種獨特的化學氣相沉積工藝（CVD）。CVD工藝早應用于半導體工業(yè)的外延生長，整個過程是氣態(tài)反應，又在真空條件下進行，因而可以獲得非常均勻的涂層，達到其它方法難以實現(xiàn)的同形性。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場前景好被我國磁性材料行業(yè)作為今后10-15年的發(fā)展產(chǎn)品。這些產(chǎn)品的表面采用Parylene來涂上一層保護層，以增強產(chǎn)品表面的絕緣性、堅固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機等領域的運用大。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時間能達到70-100小時。而采用Parylene可以達到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補穩(wěn)定特性制作）。

使用Parylene的好處！

1、可以抗酸堿腐蝕

2、可以抗溶解（在普通的溶劑中不會被溶解）

3、耐高溫（使用溫度高達140度），抗嚴寒（零下200度）

4、具有的屏障效果（低氣體滲透性）

5、可靠性強，具有極高的絕緣強度

6、采用Parylene進行涂層,可得到均勻一致,透明且極薄的膜層

7、能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊、裂縫

8、經(jīng)濟清潔、工序簡單、速度快、批量處理能力強