石英撓性加速度計發(fā)展小型化高溫型，小型化，普通型，石英撓性加速度計是一種力平衡式傳感器，它將輸入加速度轉換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。3軸石英撓性加速度計由于采用了力反饋回路，使這種撓性加速度計具有精度高，抗干擾能力強的特點。石英撓性加速度計可應用于各種線加速度、振動加速度的測量，經轉換后可應用于速度、距離、角速度、角位移等參數測量。

3軸石英撓性加速度計是根據慣性原理設計而成的精密型石英加速度傳感器。它將輸入加速度轉換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。由于采用了力反饋回路，使這種加速度計具有精度高、抗干擾能力強、測量范圍寬、過載能力強的特點，3軸石英撓性加速度計精度高、穩(wěn)定性好、分辨率高、重復性好、攜帶方便，被廣泛用于：隧道開鑿、深井測量、地質鉆探、港務測量、高層建筑基坑、大壩、堤防、巖土邊坡等的傾斜測量，公路、鐵路、堤壩等的剖面沉降。

3軸石英撓性加速度計開始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計。由于這種表面選用撓性支承技術所以稱為石英撓性加速度計，且其結構與工藝大大簡化，這種石英撓性加速度計已廣泛運用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。3軸石英撓性加速度計由于這種儀表采用撓性支承技術，所以稱為石英撓性加速度計，且其結構與工藝大大簡化。目前這種石英撓性加速度計已廣泛應用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。3軸石英撓性加速度計具有結構簡單、精度高、靈敏度高、長期穩(wěn)定性好、體積小巧、功耗小、成本低等優(yōu)點，是對加速度、速度、距離、搖擺、振動、傾斜等物理量敏感、測量、控制方面的換代產品。