特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟，其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類，是隨著近年來科學(xué)研究、自動 化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。

 特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體分類：標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體，可分為單元標(biāo)準(zhǔn)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體，目前標(biāo)準(zhǔn)氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求，特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

 滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體的儲存注意事項：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時，儲存場所需要經(jīng)過縣級以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設(shè)有安全警示牌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。

滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；