主動(dòng)式掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)

掃描測(cè)量率高達(dá)500點(diǎn)/秒。

數(shù)據(jù)采集測(cè)力可調(diào)(50-1000mN)

ZEISS VAST XT gold：探針：長度=500mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS VAST gold：探針：=800mm，重=600g（含吸盤），探針直徑=0.3mm。

ZEISS VAST XTR gold：探針：長度（固定）=500mm，長度（旋轉(zhuǎn)）=350mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS RDS-D動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座，可選配光學(xué)與接觸式測(cè)頭系統(tǒng)。

采用側(cè)面旋轉(zhuǎn)技術(shù)的動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座于兩個(gè)方向均可實(shí)現(xiàn)±180°旋轉(zhuǎn)，步距角2.5°，

空間旋轉(zhuǎn)位置可達(dá)20736個(gè)。采用CAA技術(shù)，極大的節(jié)約了探針校準(zhǔn)與檢測(cè)時(shí)間。

適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)。掃描測(cè)量率達(dá)150點(diǎn)/秒

使用TL3模塊時(shí)，探針長度 = 30-150 mm；長加長桿 = 100 mm；

大探針重量 = 15 g；小探針直徑 = 0.3 mm.

ZEISS DotScan

測(cè)量范圍 1 mm 2)

配備共聚焦白光測(cè)距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA

掃描測(cè)量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。

工作距離：10,5mm ,分辨率28nm

可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

測(cè)量范圍 3 mm 2)

工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，

可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm