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發(fā)布時(shí)間:2021-01-10 04:38  

無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:

    不攜入

  在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:

  作業(yè)員進(jìn)入無塵室前,機(jī)臺、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;

  進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

  通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無塵室。

  機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。

  無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。


  在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量,遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

  無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則:

      排除/除去

  在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動(dòng)作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,但會(huì)伴隨大量的能源消耗。1、無塵室廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),不僅僅是向無塵室外排氣,負(fù)離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。


    無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無塵潔凈房間。

    無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。


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     每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項(xiàng)鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品,即便它們一般都是藏在衣服里面,不要佩戴這些飾物。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。


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