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真空鍍膜機真空器件的常用檢漏方法
真空鍍膜機真空器件的常用檢漏方法 依據(jù)電真空器材的結(jié)構(gòu)特色及丈量精度要求,常用的有兩種檢漏辦法,即氦罩法和噴吹法(這兩種檢漏辦法具體介紹可見:氦罩法和噴吹法的氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常見辦法)。檢漏時,先用氦罩法進(jìn)行總漏率的測定,當(dāng)總漏率超出答應(yīng)值后再用噴吹法進(jìn)行漏孔的認(rèn)位。 氦罩法是被檢件與檢漏儀銜接抽真空到達(dá)檢漏狀況后,用一個充溢氦氣的查驗罩,把被檢件全體或部分的表面面包圍起來,如圖4所示。查驗罩充氦時先將罩內(nèi)空氣排出再充氦,以確保罩內(nèi)氦濃度盡可能挨近100百分之,被檢件上任何地方有走漏。 檢漏儀都會有漏率值改變,顯示出漏率值。氦罩時刻也要繼續(xù)3~5倍檢漏儀呼應(yīng)時刻。ASM192T2氦質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)時刻小于0.5s,因而氦罩時刻30s即可。氦罩法可方便地測定被檢件總漏率,不會漏掉任何一處漏點,但不能確認(rèn)漏孔方位。 噴吹法是將被檢件與儀器的真空體系相連,對被檢件抽真空后用噴槍向漏孔處吹噴氦氣。當(dāng)有漏孔存在時,氦氣就經(jīng)過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜儀被檢測出,噴吹法彌補了氦罩法不能定位的缺點。
磁控濺射鍍膜技術(shù)介紹
磁控濺射鍍膜技術(shù)介紹 磁控濺射鍍膜設(shè)備是一種具有結(jié)構(gòu)簡單、電器控制穩(wěn)定性好等優(yōu)點的真空鍍膜機,其工藝技術(shù)的選擇對薄膜的性能具有非常重要的影響。 磁控濺射鍍膜技術(shù)在陶瓷表面裝飾中采用的工藝流程如下: 陶瓷片→超聲清洗→裝夾→抽本底真空→plasma清洗→加熱→通氣→預(yù)濺射→抽本底真空→濺射(或多次濺射)→鍍AF膜→破真空卸片→表面檢驗→性能測試→包裝、入庫。 以上工藝技術(shù)就是以磁控濺射鍍膜設(shè)備為基礎(chǔ),選用合適的靶材和濺射工藝,制備出超硬的耐磨鍍層,可以實現(xiàn)材料的高硬度、高耐磨、高耐劃傷特性;同時,利用NCVM光學(xué)膜結(jié)構(gòu)設(shè)計,設(shè)計出各層不同折射率材料,可以調(diào)配出任意顏色,使得陶瓷不僅硬度高、強度高,具備外觀件時尚、美觀的特點,而且不會屏蔽電磁信號。 磁控濺射鍍膜設(shè)備配合NCVM工藝,能夠?qū)崿F(xiàn)對于陶瓷電子消費品的表面裝飾處理,在保證陶瓷強度和硬度的同時,也能夠提升其美觀性和藝術(shù)性,更好地滿足消費者的個性化需求。NCVM鍍膜主要是在真空條件下,通過相應(yīng)的物理化學(xué)手段來對金屬材料進(jìn)行轉(zhuǎn)換,以粒子的方式吸附在材料表面,形成鍍膜層,相比較普通真空電鍍,NCVM的技術(shù)含量更高,加工流程也更加復(fù)雜。 磁控濺射鍍超硬膜,結(jié)合NCVM光學(xué)鍍膜技術(shù),其鍍層具有優(yōu)異的耐磨性、耐蝕性、鍍層厚度均勻性以及致密度高等特點,已在電子產(chǎn)品中獲得大量應(yīng)用。隨著電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,NCVM鍍膜憑借本身優(yōu)越的性能,在真空電鍍技術(shù)領(lǐng)域脫穎而出,成為了電子消費品生產(chǎn)中的一項核心技術(shù),在保證良好處理效果的同時,也能夠消除電鍍過程中重金屬元素對于人體的危害,對其環(huán)境污染問題進(jìn)行解決。
真空鍍膜機的工作原理
真空鍍膜機的工作原理 在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個重要因素。因此,當(dāng)評價某薄膜樣品的性能時,需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個問題:首先,不同次生長的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實驗裝取樣品需要重新進(jìn)行真空的獲得,非常耗時。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。 因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。 多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)主要用途:用于制備各種金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、磁控膜、光學(xué)膜、超導(dǎo)膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。
鍍膜設(shè)備該選擇哪種主泵配置
鍍膜設(shè)備該選擇哪種主泵配置 真空系統(tǒng)在鍍膜設(shè)備行業(yè)中可謂是非常重要,是其不缺缺少的設(shè)備之一。目前常用的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式一般是由主泵及前級泵串聯(lián),加上閥門管道和真空測量儀表組成。而所選的主泵基本上分為兩種形式,分別為有油真空和無油真空系統(tǒng)。 那么什么是有油真空系統(tǒng)和無油真空系統(tǒng)呢?下面小編來給大家介紹一下: 有油真空系統(tǒng)基本是以油擴散泵為主泵,前級泵采用機械泵或者羅茨泵。我們知道,油擴散泵的壓力方位比較大,同時抽氣速率非常的高,能夠達(dá)到每秒十幾萬升。其工作能力在業(yè)內(nèi)是數(shù)一數(shù)二的,這也得益于其具有良好的性能。從優(yōu)點上來講,有油真空系統(tǒng)工作可靠,沒有振動,沒有噪音,壽命長,維護(hù)建檔透支費用低,是很多廠家都喜歡使用的。但是其缺點也非常的明顯,就是會形成污染源,大規(guī)格泵在這方面更加的嚴(yán)重。 無油真空西永是使用分子泵和低溫泵作為主泵的,其特點主要集中在能夠連續(xù)大量抽氣,可以獲得清潔無油的超高真空。并且該系統(tǒng)啟動時間快,停泵時間短。但是該系統(tǒng)抽重氣體比抽輕氣體快,對水蒸氣類型的的抽速比較慢,當(dāng)氣體大量經(jīng)過泵的時候,抽速就會下降的很快。 這兩種真空鍍膜設(shè)備各有各的優(yōu)點和缺點,使用者應(yīng)該考慮自己的需求來進(jìn)行選購。