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曝光顯影直接決定蝕刻圖案的準(zhǔn)確性,因此在制作上,需要非常準(zhǔn)確和清晰。操作人員要規(guī)范作業(yè),避免圖案模糊或者移位影響產(chǎn)品品質(zhì)。
曝光也叫感光,放在已經(jīng)噴了感光油的產(chǎn)品上面,主要的目的是通過(guò)曝光讓圖案在材料上對(duì)應(yīng)成型,感光(曝光)過(guò)程中要特別注意夾具一定要放好,不能歪斜,否則產(chǎn)品圖案就會(huì)出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象,從而產(chǎn)生不良品,也要定期檢查,不能出現(xiàn)折疊現(xiàn)象,否則也會(huì)出現(xiàn)不良品。
金屬蝕刻加工的難點(diǎn)主要在于金屬蝕刻加工的不可控性的環(huán)節(jié)過(guò)多。一般對(duì)于金屬蝕刻加工的難點(diǎn)主要控制有以下幾點(diǎn):
1、金屬蝕刻加工所使用材料材質(zhì)要好,不可選用一般雜質(zhì)材料。
2、金屬蝕刻加工的所使用的化學(xué)配方要穩(wěn)定,不同的產(chǎn)品需要不同的配方指標(biāo)
3、金屬蝕刻加工的過(guò)程管控也是難點(diǎn)之一,一定要管控好金屬蝕刻加工的各個(gè)環(huán)節(jié),不允許不按規(guī)范操作。
對(duì)常用金屬材料的蝕刻以現(xiàn)有技術(shù)水平完全可以做較高的蝕刻速度可達(dá)0.1m/min以上這么快的速度需要腐蝕能力更強(qiáng)的配方及更高的溫度,為了維持溶液成分的相對(duì)穩(wěn)定可以采用大體積或自動(dòng)分析調(diào)整技術(shù),但在這里就有一個(gè)可用于批量生產(chǎn)的防蝕層怎么制作的問(wèn)題本書中所講的一定是批量生產(chǎn)而不是實(shí)驗(yàn)室的工作。
所以快的蝕刻速度只是一個(gè)相對(duì)概念,是在容易控制的同時(shí),防蝕層制作成本可接受、蝕刻深度均勻的前提下快的蝕刻速度才是有意義的。