化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。3極限壓力渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉(zhuǎn)，在測試罩內(nèi)所能達到的穩(wěn)定時的低壓力，用P。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構(gòu)。愛德華真空泵維修經(jīng)過長期工作后經(jīng)常會出現(xiàn)的問題就是漏油，關(guān)于這個問題怎么維修呢。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的GVDrystar泵能夠處理大量粉塵和水蒸汽，在保持高可重復(fù)性、高性能和高可靠性的同時不會帶來制程污染的風險。我們的泵設(shè)計 具有可選的溫度設(shè)定點和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)定點上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。