無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

進入無塵車間的有哪些清潔要求?

（1）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；

（2）用90%去離子水和10%的異丙1醇配置清潔劑；

（3）使用已獲批準的潔凈室去污劑；

（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。

（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。

（6）清潔潔凈室的地面應使用拖把。

（7）所有的門都需要檢查并擦干。

（8）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。

（9）架空地板下也要吸塵及擦拭。

（10）三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。

（11）工作時一定要記住，是由上往下擦，從離門遠的地方向門的方向擦。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設計方案。