液氬 - 用途

高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。

液氬的操作和儲存

操作處置注意事項：密閉操作，加強通風(fēng)，設(shè)有事故強制通風(fēng)設(shè)備，操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)。持證上崗，操作時嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。充裝時要控制充裝速度。充裝時間不少于30min。液氬泄漏嚴(yán)防傷。

液氬應(yīng)用

不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質(zhì)量。

液氬貯槽使用前的準(zhǔn)備工作

吹除處理：氣密性試驗合格后，需要干燥無油的空氣對貯槽內(nèi)筒系統(tǒng)進行吹除處理，用以去除潮濕空氣，系統(tǒng)在用干燥空氣或氮氣吹除之后，還應(yīng)用產(chǎn)品氣體吹除，直到排除氣體純度打到要求為止。

液氬 - 制法

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬，粗氬經(jīng)進一步提純可得到高純氬。

在鈦、鈷及其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中，氬氣用于吹煉特種鋼，以提高鋼的質(zhì)量，特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。

高純液氬在操作過程中的注意事項

高純液氬極易揮發(fā)，在使用的過程中要保持密封的，將其放置在通風(fēng)條件良好的地方，防止其泄露后產(chǎn)生的氣體散發(fā)到工作環(huán)境中。

高純液氬在運輸過程中是禁止與可燃性氣體同時運輸?shù)模骰鸷蜔嵩唇菇佑|液氬，只有規(guī)范化的操作才能保證安全。