進行顯影的方式有很多種,廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個階段:硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進行顯影;顯影完成后,需要經(jīng)過漂洗,之后再烘干。
產(chǎn)生影像的過程稱為顯影。顯影是在印刷、影印、復(fù)印、曬圖等行業(yè)中,讓影像顯現(xiàn)的一個過程。曝光顯影工藝流程中拋光工序風輪加青蠟會出現(xiàn)鏡面拋不透,發(fā)白現(xiàn)象。
技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種曝光顯影的方法,該曝光顯影的方法可以解決鏡面拋光不透發(fā)白等問題。

檢查OK后才可以放入下一道工序:蝕刻。經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機械、化學工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,感光(爆光)完成后就要進行下一步工作:顯影;顯影的目的是通過顯影將未爆光的地方?jīng)_走,經(jīng)過爆光的地方固化,形成蝕刻圖案,經(jīng)過顯影后質(zhì)檢員對產(chǎn)品進行檢查,把顯影不到的地方或圖案不良的產(chǎn)品挑選出來,良品則進入下一道工序:封油。
同樣,如果蝕刻的時間太長,特別是蝕刻液溫度較高的情況下,耐蝕油墨或防護涂層浸漬時間過長,也同樣起到上述的副作用和不良后果,因此時間控制上也要適當,不能浸得太久,一般不宜超過20~25min。簡單的講蝕刻工藝是五金沖壓工藝的延伸,也稱為光化學蝕刻,也有人稱為腐蝕。五金沖壓是開模具沖壓成型,但沖壓工藝比較粗糙。公差大,精度不高,對于高粗度的零件解決不了,蝕刻工藝解決了工業(yè)生產(chǎn)中對高精密零件需求。