旋片真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。真空系統(tǒng)常用名稱①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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旋片真空泵主要由泵體(靜子)和轉子組成。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2~3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉子連續(xù)轉動，泵便不斷抽氣。

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旋片真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

使用方法1、使用前，應仔細閱讀產品使用說明書，開箱后應檢查裝運質量。收好備品備件和技術文件，拆除排氣品防護件。按要求安裝，接線，試轉向。水泠泵接水。

2、為防止因返油與反轉而噴油，應先開啟泵口，按規(guī)定轉向把泵內存油用手盤到油箱中。同時查看油位，應在油標中心以上，但不要滿油標，多了要放出。

3、判斷轉向的輔助方法。把護套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向。

4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應橫裝，并與泵同時動作。

5、相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時，應使用氣鎮(zhèn)閥。

6、按說明書推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴格清洗后才能換入酯類真空泵油。

7、檢查泵的極限壓力以壓縮式水yin真空計為準。全壓力計應注意做好計與規(guī)管的配對校準和備用比對規(guī)管。建議在規(guī)管與被測泵之間裝一球閥。不測時關閥，可延長規(guī)管使用時間。

8、清洗。不宜浸洗，以免洗液進入拼接轉子內部，不易排出。

9、拆裝。要按照使用說明書推薦和規(guī)定有序進行，記好位置，合理擺放，以免錯裝。

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真空設備檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

氦質譜檢漏儀是以氦氣作為示漏氣體，對真空設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，其測量工作原理如下。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。