設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室時(shí)應(yīng)該注意哪些事項(xiàng)：1、實(shí)驗(yàn)室配有空調(diào)系統(tǒng)，其風(fēng)口應(yīng)采用噴塑或其他處理過(guò)的金屬材料制成，化學(xué)實(shí)驗(yàn)室一般不設(shè)回風(fēng)口。2、實(shí)驗(yàn)室的照明燈具不宜用金屬制品，若選用金屬燈具需經(jīng)表面處理，以防止腐蝕。3、各種管線應(yīng)盡量避免外露，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)簡(jiǎn)潔。有條件應(yīng)設(shè)置火災(zāi)煙霧報(bào)警器等。4、安全設(shè)施包括消防滅火系統(tǒng)，惰性氣體滅火系統(tǒng)，安全柜，緊急事故淋洗器、洗眼器等。5、供氣設(shè)施包括供氣站、供氣板、用氣板及其管路系統(tǒng)等。

實(shí)驗(yàn)室潔凈度及壓力梯度：主實(shí)驗(yàn)室：面積為150m2，凈空高度為2.7m，規(guī)劃溫度（空調(diào)操控），規(guī)劃濕度（能夠思考添加抽濕機(jī)），潔凈等級(jí)為三十萬(wàn)級(jí)—十萬(wàn)級(jí)，換氣次數(shù)25次/小時(shí)，相對(duì)壓力為 10Pa，規(guī)劃送風(fēng)量900m3/h，過(guò)濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為1000 m3/h。緩沖室：面積為2.9m2，凈空高度為2.7m，潔凈等級(jí)為十萬(wàn)級(jí)，換氣次數(shù)15次/小時(shí)，相對(duì)壓力為 5Pa，規(guī)劃送風(fēng)量110m3/h，過(guò)濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為500 m3/h。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超越25度。

無(wú)塵室車(chē)間全體凈化：無(wú)塵室可分為層流型和亂流型。層流無(wú)塵室是指空氣由一側(cè)全部地以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)發(fā)作的塵粒或細(xì)菌不會(huì)向附近渙散而被平推出室外或許通過(guò)回風(fēng)口過(guò)濾器過(guò)濾處理，而到達(dá)好的chu菌效果，該方法對(duì)比合適用于高潔凈度等級(jí)請(qǐng)求的職業(yè)無(wú)塵室。亂流無(wú)塵室是指空氣由無(wú)塵室頂部通過(guò)組合式空調(diào)機(jī)組初中效過(guò)濾器過(guò)濾，加壓由通過(guò)保溫的風(fēng)管渙散送到各個(gè)房間，終通過(guò)送風(fēng)口送入無(wú)塵室內(nèi)，以到達(dá)凈化的效果，該送風(fēng)方法對(duì)比常見(jiàn)，回風(fēng)通常做在旮旯或許立柱的底部，全體回風(fēng)；無(wú)塵室的送風(fēng)體系少不了各種空氣過(guò)濾器的嚴(yán)格控制，下面為我們簡(jiǎn)略介紹一下過(guò)濾器HAPE。