國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)l藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的很好的工作真空度。

分子泵

分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。安裝原理圖⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動小。

關(guān)于羅茨真空泵的性能特點(diǎn)

1、羅茨真空泵噪音低、風(fēng)機(jī)進(jìn)、排氣口采用螺旋形狀，使進(jìn)、排風(fēng)過程按螺旋線的方向循序切入，避免了舊式羅茨鼓風(fēng)機(jī)排風(fēng)時瞬間爆發(fā)的脈動噪音和振動。

2、啟動快，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低，抽速大、效l率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感

3、性能穩(wěn)定。羅茨鼓風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子、機(jī)殼、墻板、軸等關(guān)鍵零件，均采用先進(jìn)的控加工設(shè)備，使零部件的互換性提高。

4、振動小。盡管轉(zhuǎn)子經(jīng)過精密加工，已成平衡狀態(tài)，但仍采用高l精度的動平衡設(shè)備進(jìn)行平衡。

5、絕熱效率和容積效l率高，因而節(jié)能。羅茨風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子采用先進(jìn)的復(fù)合曲線，嚙合更加合理，并且增大了容積效率。

6、采用高l精度、高硬度的同步齒輪，不僅使羅茨真空泵的壽命得到延長，還有效降低了噪音。