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市場規(guī)模
中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定增長,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移。據(jù)WSTS和SIA統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),2016年中國半導(dǎo)體市場規(guī)模為1659.0億美元,增速達(dá)9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。2016年中國半導(dǎo)體制造用光刻膠市場規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場規(guī)模為20.24億元。預(yù)計(jì)2017和2018年半導(dǎo)體制造用光刻膠市場規(guī)模將分別達(dá)到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規(guī)模將分別達(dá)到22.64億元和29.36億元。作為光刻工藝自身的首先過程,一薄層的對紫外光敏感的有機(jī)高分子化合物,即通常所說的光刻膠,要涂在樣品表面(SiO2)。在28nm生產(chǎn)線產(chǎn)能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導(dǎo)體應(yīng)用廣泛,需求增長持續(xù)性強(qiáng)。近些年來,全球半導(dǎo)體廠商在中國大陸投設(shè)多家工廠,如臺(tái)積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導(dǎo)體工廠的設(shè)立,也拉動(dòng)了國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠市場需求增長。
彩色薄膜少了光刻膠,產(chǎn)生不了絢麗的畫面
顯示器是人與機(jī)器溝通的重要界面。光刻膠是整個(gè)光刻工藝的重要部分,也是國際上技術(shù)門檻較高的微電子化學(xué)品之一,主要應(yīng)用在集成電路和平板顯示兩大產(chǎn)業(yè)。光刻技術(shù)決定了集成電路的集成度,技術(shù)節(jié)點(diǎn)的推進(jìn)和實(shí)現(xiàn)。
章宇軒介紹,我們在日常工作生活中,之所以能從顯示屏幕上看到色彩斑斕的畫面,就是離不開屏幕中厚度只有2μm、卻占面板成本16%的一層彩色薄膜。然而,彩色薄膜顏色的產(chǎn)生,必須由光刻膠來完成。
LCD是非主動(dòng)發(fā)光器件,其色彩顯示必須由本身的背光系統(tǒng)或外部的環(huán)境光提供光源,通過驅(qū)動(dòng)器與控制器形成灰階顯示,再利用彩色濾光片產(chǎn)生紅、綠、藍(lán)三基色,依據(jù)混色原理形成彩色顯示畫面。
其中,根據(jù)顏色的不同,可以將光刻膠分為黑色、紅色、綠色、藍(lán)色四種。彩色濾光片的制作就是在玻璃基板上應(yīng)用黑色光刻膠制作黑色矩陣,再應(yīng)用紅、綠、藍(lán)光刻膠制作三原色像素。
NR9-3000PYNR94 8000PY光刻膠報(bào)價(jià)
2,涂膠,在硅片覆蓋,旋轉(zhuǎn),離心力,在硅片表面通過旋轉(zhuǎn)的光刻膠,工藝參數(shù)3000-6000rpm 膠膜厚0.5-1um,
3,前烘,通過在較高溫度下進(jìn)行烘焙,使存底表面涂覆的光刻膠膜的溶劑揮發(fā),溶劑將至5%左右,同時(shí)增強(qiáng)與襯底的粘附性。前烘方法:熱平板傳導(dǎo),干燥循環(huán)熱風(fēng)提高附著力,紅外線輻射。
烘箱前烘條件:90-100度,10-20min,前烘時(shí)間與溫度應(yīng)適當(dāng),如太長或溫度太高,光刻膠層變脆而附著力下降,而前烘不足會(huì)影響后面的顯影效果。