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流量控制器的性能參數(shù)
流量控制器的特點(diǎn)是:當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí),通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數(shù)有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差
工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進(jìn)口、出口壓差變化在多大范圍時(shí),能保持通過流量控制器的流量恒定不變。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03-0.3MPa,A類產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03-0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計(jì)。
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流量控制器
質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
測(cè)量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。熱式質(zhì)量流量計(jì)無活動(dòng)部件,無分流管的熱分布式儀表無阻流件,壓力損失很小。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么?
這一點(diǎn)關(guān)系到用戶的切身利益,涉及的問題也比較多,因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量(質(zhì)量流量)。
B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表,將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體)等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定,請(qǐng)向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題,以下還有進(jìn)一步解答。
C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程,您實(shí)際使用的流量值應(yīng)接低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的,如果實(shí)際流量較小而量程值選取過大,則測(cè)量值的相對(duì)誤差較大。