雙工位氦檢漏系統(tǒng)構成

（1）粗抽機組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個大氣壓到千帕級真空，并為后續(xù)精抽真空作準備。

（2）精抽機組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號。

（4）耐壓測試單元：通過向工件內充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統(tǒng)經過計算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內的空氣。

關于真空檢漏

漏孔的氣流特性

氣體流經漏孔的過程是很復雜的，可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態(tài)。主導流動狀態(tài)與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環(huán)境溫度有關。設環(huán)境溫度T=296K，入口壓力p2=1.01×105Pa，出口壓力p1《p2，漏孔長L，直徑d的均勻圓截面導管型漏孔，其對空氣的漏率及可視流動狀態(tài)

檢漏方法的分類

檢漏方法很多，根據(jù)被檢件所處的狀態(tài)可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。

充壓檢漏法：在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質，如果被檢件上有漏孔，示漏物質便從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測出從漏孔漏出的示漏物質，從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充壓檢漏法。

真空檢漏法：被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在被檢件的外部施加示漏物質，如果有漏孔，示漏物質就會通過漏孔進入被檢件和敏感元件的空間，由敏感元件檢測出示漏物質，從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，這就是真空檢漏法。

其它檢漏法：被檢件既不充壓也不抽真空，或其外部受壓等方法歸入其它檢漏法。背壓法就是其中主要方法之一。

所謂“背壓檢漏法”是利用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件，然后在真空狀態(tài)下使示漏氣體再從被檢件中漏出．以某種方法(或檢漏儀)檢測漏出的示漏氣體，判定被檢件的總漏率的方法。

為了方便說明真空檢漏方法，我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成，真空爐的生產中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。

1. 極限壓力合格，升壓率不合格

極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有一些較小的漏點，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之間。檢漏步驟為：

①用力按壓氣袋從粗抽閥開始向爐體方向噴吹氦氣，遍針頭移動的速度可以快些，對設備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行檢漏，在焊口不規(guī)整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細致檢查。

②不按壓氣袋，用針頭緩慢地對位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少量氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率大且上升快的點即是漏點。

③向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封，然后向罩中噴入氦氣，觀察檢漏儀的漏率變化，如果緩慢上升，說明被包裹的位置存在漏點。

檢漏技術的發(fā)展

檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標。如何快速地找到漏點，關系到企業(yè)的生產效率與經營成本。

檢漏技術是一門不斷發(fā)展、不斷完善的技術，多年來，人們創(chuàng)造了很多檢漏方法。

上世紀四十年代以前的技術非常簡單，比如氣泡法、電離計法等。當時，漏率高只能檢測到10^-7Pa·m^3/s。

后來，經過不斷的完善與提高，在1950~1960年代，研制者朝著提高靈敏度的方向努力，使靈敏度一度達到了10^-15Pa·m^3/s。

然而實踐證明，單一追求高靈敏度并非合適，這會給檢漏儀的生產制造帶來一些麻煩。后來，人們將精力主要放在了儀器的穩(wěn)定性、可靠性、小型化、簡單化、檢漏過程迅速化上面。

當今常見的氦質譜檢漏儀，靈敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。較為先進的檢漏儀壓力在幾萬Pa就可檢漏。便攜式的檢漏儀，一個人就可以搬運。甚至有些檢漏儀已經可以通過手機APP遠程控制檢測。

這些技術上的進步，使檢漏工作的效率和便利性得到很大提升，應用氦質譜檢漏儀已經成為檢漏技術中的主要方法。