氣體監(jiān)測(cè)

純凈的SF6氣體雖然無(wú)毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過(guò)大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶(hù)內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場(chǎng)所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)設(shè)備。

1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。SF6是強(qiáng)電負(fù)性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質(zhì)量大的負(fù)離子，削弱氣體中碰撞電離過(guò)程，因此其電氣絕緣強(qiáng)度很高，在均勻電場(chǎng)中約為空氣絕緣強(qiáng)度的2。電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變，以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以連續(xù)工作的特點(diǎn)。

六氟化硫有毒嗎？這是個(gè)“美麗的誤會(huì)”

    六氟化硫有毒嗎？純凈的六氟化硫是一種惰性氣體，在電弧作用下會(huì)分解，當(dāng)溫度高達(dá)4000K以上時(shí)，大部分的分解物為硫和氟的單原子。SF6氣體的分子具有很好的電負(fù)性，能夠捕i捉自由電子形成負(fù)離子，因此SF6氣體的滅弧性能是空氣的100倍，大型電力設(shè)備中大多使用SF6斷路器而不是空氣開(kāi)關(guān)。電弧熄滅后，絕大部分的分解產(chǎn)物又重新結(jié)合成穩(wěn)定的六氟化硫分子。其中極i少量的分解物，在重新結(jié)合的過(guò)程中與游離的金屬原子、水和氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設(shè)備內(nèi)時(shí)，無(wú)論是在故障情況下或是在正常的開(kāi)斷電弧作用下，可能分解，產(chǎn)生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。

    經(jīng)驗(yàn)表明，工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環(huán)境中，也會(huì)感到刺鼻或不舒服的氣味，對(duì)鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應(yīng)在有明顯中i毒反應(yīng)之前的幾秒鐘內(nèi)就會(huì)產(chǎn)生。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年，國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠(chǎng)家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國(guó)內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來(lái)，各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí)，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來(lái)用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng)，總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線(xiàn)約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右，

 國(guó)內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線(xiàn)有近50條，在未來(lái)的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線(xiàn)建成。而國(guó)內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足市場(chǎng)需求，半導(dǎo)體廠(chǎng)家所用高純產(chǎn)品大部分依賴(lài)進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。每年約消耗高純六氟化硫?yàn)?00噸左右。而國(guó)內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足市場(chǎng)需求，半導(dǎo)體廠(chǎng)家所用高純產(chǎn)品大部分依賴(lài)進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。

六氟化硫防護(hù)之工作人員防護(hù)措施：

      在有六氟化硫設(shè)備的工作場(chǎng)所，有關(guān)人員應(yīng)該穿著專(zhuān)業(yè)的SF6防護(hù)服以及手套和工作鞋。以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產(chǎn)物都會(huì)導(dǎo)致六氟化硫氣體純度不純的問(wèn)題。六氟化硫防護(hù)服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點(diǎn)，不會(huì)影響人員活動(dòng)自由，此外還能保護(hù)人體遠(yuǎn)離無(wú)機(jī)酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內(nèi)或者狹小的環(huán)境以及可能存在SF6泄i露的環(huán)境，使用防護(hù)面罩也屬于六氟化硫防護(hù)的內(nèi)容。在對(duì)SF6電氣設(shè)備進(jìn)行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護(hù)的時(shí)候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專(zhuān)業(yè)的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質(zhì)中，危害可不少。由于有些有毒物質(zhì)是氣態(tài)存在的，呼吸時(shí)有可能進(jìn)入體內(nèi)，所以六氟化硫防護(hù)需要使用過(guò)濾器。這個(gè)過(guò)濾器就像防毒面具的過(guò)濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復(fù)合附劑，過(guò)濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護(hù)人員安全。