使用工業(yè)烤箱需要留意那些小細(xì)節(jié)使物體干燥的設(shè)備，型號(hào)很多，工業(yè)烤箱但基本結(jié)構(gòu)相似，一般由箱體、電熱系統(tǒng)和自動(dòng)控溫系統(tǒng)三部分組成，其使用及注意事項(xiàng)總結(jié)如下：

1、當(dāng)一切準(zhǔn)備工作就緒后方可將試品放入烘箱內(nèi)，然后連接并開啟電源，紅色指示燈亮表示箱內(nèi)已加熱。當(dāng)溫度達(dá)到所控溫度時(shí)，紅燈熄滅綠燈亮，開始恒溫。為了防止溫控失靈，還必須照看。

2、烘箱應(yīng)安放在室內(nèi)干燥和水平處，工業(yè)烤箱防止振動(dòng)和腐蝕。

1、需干燥處理的物品放入高溫真空烤箱內(nèi)，將箱門關(guān)上，并關(guān)閉放氣閥，開啟真空閥，接通真空泵電源開始抽氣，使箱內(nèi)真空度達(dá)到-0.1M Pa時(shí)，關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源。

2、把高溫真空烤箱電源開關(guān)撥至“開”處，選擇所需的設(shè)定溫度，箱內(nèi)溫度開始上升，當(dāng)箱內(nèi)溫度接近設(shè)定溫度時(shí)，加熱指示燈忽亮忽熄，反復(fù)多次，一般120min以內(nèi)可進(jìn)入恒溫狀態(tài)。

在硅片上涂覆光刻膠。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。