凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

平開凈化車間門扇的縫隙密封：

　　平開式密閉凈化車間門是潔凈廠房中選用很多的凈化車間門類型，平時(shí)供通行或者運(yùn)輸.火災(zāi)時(shí)供緊急疏散，都很方便。

　　一般選用成型斷面的彈性材料作為密閉條固定密封在縫處。常用凈化車間門的洞口寬度，雙扇內(nèi)凈化車間門多在1800mm以下，雙扇外凈化車間門多在2100mm以下;洞口高度大抵在2400mm以內(nèi)。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設(shè)備安裝專業(yè)公司。

　改變安徽車間凈化要求的溫濕度基數(shù)：維持安徽車間凈化達(dá)到一定的溫、濕度需耗用相應(yīng)的能量，提高要求的溫、濕度基礎(chǔ)可以節(jié)能能量，若空氣參數(shù)要求為22℃±2℃和35%-50%相對濕度，在夏季運(yùn)行中，如果安徽車間凈化內(nèi)空氣溫度控制在23℃，相對濕度控制在60%，此時(shí)凈化空調(diào)系統(tǒng)機(jī)器露出點(diǎn)即可由12.2℃提高到16.5℃，如果系統(tǒng)處理風(fēng)量按10000m3/H計(jì)，則運(yùn)行中可節(jié)省處理空氣的冷量消耗為36.27kWH，全天按16H計(jì)，則可節(jié)省冷量580.3kw/d?？諝膺^濾器的入口質(zhì)量濃度一般低于5mg/m3，而其出口質(zhì)量濃度有的可以低到1m3空氣幾個(gè)微粒計(jì)數(shù)。