車間凈化工程應(yīng)用于行業(yè)

車間凈化工程應(yīng)用于生產(chǎn)車間 由于技術(shù)的發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品的高精度和小型化的需求更加迫切，例如需要清潔生產(chǎn)車間的超大型集成電路的研究和制造。例如，半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要潔凈室，以確保工作環(huán)境中的顆粒和溫度，濕度標(biāo)準(zhǔn)，任何顆粒和溫度和濕度都達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)影響制造裝置的性能和可靠性。 車間凈化工程應(yīng)用于行業(yè) 隨著手術(shù)室凈化項(xiàng)目，術(shù)后率從8.9降至0.26，手術(shù)室凈化已成為醫(yī)院水平的重要指標(biāo)，特別是在一些大型醫(yī)院，需要凈化手術(shù)室，為移植等困難復(fù)雜的手術(shù)提供合適的空間。

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)部墻面應(yīng)使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)部墻面應(yīng)使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料，墻面必須平整，防潮防霉，Ⅰ、Ⅱ級(jí)潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板；Ⅲ、Ⅳ級(jí)潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料，縫隙均應(yīng)抹平。 潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面；踢腳必須與地面成一整體；踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。 潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻體轉(zhuǎn)角和門的豎向側(cè)邊的陽角應(yīng)為圓角。通道兩側(cè)及轉(zhuǎn)角處墻上應(yīng)設(shè)防撞板。 室內(nèi)與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級(jí)潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

節(jié)能化成為潔凈工程重要目標(biāo)

節(jié)能化成為潔凈工程重要目標(biāo) 潔凈廠房是我國的耗能大戶之一，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，潔凈室的能耗是一般寫字樓的10~30倍。我國的8英寸芯片廠，潔凈室單位面積能耗比美國同型工廠高15%。美國耗能1.28 kW/m2~1.63 kW/m2，而中國耗能1.48 kW/m2~1.93 kW/m2（資料來源：中國電子學(xué)會(huì)潔凈分會(huì)）。以上海某芯片廠為例，其全年耗電量51%是用于潔凈工程運(yùn)行及相關(guān)的維護(hù)，如果將51%的能耗合理降低，對(duì)企業(yè)來說就意味著利潤的增長(zhǎng)。因此，潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來越重視潔凈室的節(jié)能問題。這就要求潔凈工程行業(yè)的設(shè)計(jì)和施工企業(yè)，從客戶需求出發(fā)，從設(shè)計(jì)理念、建造施工、設(shè)備配備及運(yùn)行等各個(gè)方面進(jìn)行節(jié)能設(shè)計(jì)，只有采取的節(jié)能技術(shù)，整個(gè)潔凈工程行業(yè)才能持續(xù)、良性發(fā)展。