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真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法
真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法 依據(jù)電真空器材的結(jié)構(gòu)特色及丈量精度要求,常用的有兩種檢漏辦法,即氦罩法和噴吹法(這兩種檢漏辦法具體介紹可見:氦罩法和噴吹法的氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常見辦法)。檢漏時,先用氦罩法進(jìn)行總漏率的測定,當(dāng)總漏率超出答應(yīng)值后再用噴吹法進(jìn)行漏孔的認(rèn)位。 氦罩法是被檢件與檢漏儀銜接抽真空到達(dá)檢漏狀況后,用一個充溢氦氣的查驗罩,把被檢件全體或部分的表面面包圍起來,如圖4所示。查驗罩充氦時先將罩內(nèi)空氣排出再充氦,以確保罩內(nèi)氦濃度盡可能挨近100百分之,被檢件上任何地方有走漏。 檢漏儀都會有漏率值改變,顯示出漏率值。氦罩時刻也要繼續(xù)3~5倍檢漏儀呼應(yīng)時刻。ASM192T2氦質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)時刻小于0.5s,因而氦罩時刻30s即可。氦罩法可方便地測定被檢件總漏率,不會漏掉任何一處漏點,但不能確認(rèn)漏孔方位。 噴吹法是將被檢件與儀器的真空體系相連,對被檢件抽真空后用噴槍向漏孔處吹噴氦氣。當(dāng)有漏孔存在時,氦氣就經(jīng)過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜儀被檢測出,噴吹法彌補(bǔ)了氦罩法不能定位的缺點。
真空鍍膜設(shè)備的處理方法
空鍍膜設(shè)備廠家分析真空鍍膜設(shè)備的處理方法 加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的。 基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。 對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在大氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至較小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。
淺談?wù)婵斟兡C(jī)的定義、原理及應(yīng)用范圍
淺談?wù)婵斟兡C(jī)的定義、原理及應(yīng)用范圍 真空鍍膜機(jī)就是在真空中制備膜層,包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。雖然化學(xué)汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般真空鍍膜機(jī)是指用物理的方法沉積薄膜。 真空鍍膜機(jī)有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。 真空鍍膜機(jī)技術(shù)初現(xiàn)于20世紀(jì)30年代,四五十年始出現(xiàn)工業(yè)應(yīng)用,工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)開始于20世紀(jì)80年代,在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等工業(yè)中取得廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜是指在真空環(huán)境下,將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面(通常是非金屬材料),屬于物理氣相沉積工藝。因為鍍層常為金屬薄膜,故也稱真空金屬化。廣義的真空鍍膜還包括在金屬或非金屬材料表面真空蒸鍍聚合物等非金屬功能性薄膜。在所有被鍍材料中,以塑料為常見,其次,為紙張鍍膜。相對于金屬、陶瓷、木材等材料,塑料具有來源充足、性能易于調(diào)控、加工方便等優(yōu)勢,因此種類繁多的塑料或其他高分子材料作為工程裝飾性結(jié)構(gòu)材料,大量應(yīng)用于汽車、家電、日用包裝、工藝裝飾等工業(yè)領(lǐng)域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外觀不夠華麗、耐磨性低等缺陷,如在塑料表面蒸鍍一層極薄的金屬薄膜,即可賦予塑料程亮的金屬外觀,合適的金屬源還可大大增加材料表面耐磨性能,大大拓寬了塑料的裝飾性和應(yīng)用范圍。