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鍍膜機(jī)操作程序
真空鍍膜機(jī)操作程序具體操作時(shí)請(qǐng)參照該設(shè)備說(shuō)明書和設(shè)備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標(biāo)注說(shuō)明。
① 檢查真空鍍膜機(jī)各操作控制開關(guān)是否在'關(guān)'位置。
② 打開總電源開關(guān),設(shè)備送電。
③ 低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,啟動(dòng)升鐘罩閥,鐘罩升起。
④ 安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,保證無(wú)任何雜質(zhì)污物。
⑤ 落下鐘罩。
⑥ 啟動(dòng)抽真空機(jī)械泵。
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多功能真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)工作時(shí),需要先抽真空,使真空室處于真空狀態(tài),再進(jìn)行鍍膜;在集成電路制造中晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線等,多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。鍍膜完成后,需要向真空室充氣?,F(xiàn)有技術(shù)中,真空鍍膜機(jī)的充氣管道直接與外界連通,容易把外界空氣中的灰塵帶入真空室,導(dǎo)致鏡片上吸附灰塵,造成產(chǎn)品不良真空蒸渡金屬薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子加熱使金屬熔融氣化,在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜,其中被鍍金屬材料用的1多的是鋁,在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄或鍍鋁紙,在鍍鋁薄膜生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)于真空條件是有嚴(yán)格限定的,真空度過(guò)高或過(guò)低都會(huì)影響鍍膜的性能,目前,工廠里使用的鍍膜機(jī)對(duì)于真空度的控制并不是很穩(wěn)定,導(dǎo)致生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定,因此,解決生產(chǎn)過(guò)程中鍍膜機(jī)里的真空度不易控制的問題尤為重要,而且內(nèi)部鍍膜物件的溫度高,需要及時(shí)降溫,提高工作效率。
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真空鍍膜機(jī)原理
真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機(jī)械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。本公司專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及的售后服務(wù)隊(duì)伍為您解決設(shè)備在使用過(guò)程中遇到的任何問題。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。
現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)膜厚測(cè)量及監(jiān)控方法
涂層的鍍膜機(jī)控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅(qū)動(dòng)的蒸發(fā)源,通過(guò)PID控制回路傳動(dòng)擋板,使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過(guò)程。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的,鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測(cè)代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。根據(jù)現(xiàn)象判斷原因,然后再去根據(jù)判斷找問題,可能會(huì)收到事半功倍的效果。
此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對(duì)溫度很敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過(guò)程中,鍍膜機(jī)很難避免傳感器為敏感的區(qū)域,導(dǎo)致薄膜的重大錯(cuò)誤。 光學(xué)監(jiān)測(cè)是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式,鍍膜機(jī)這是因?yàn)樗軠?zhǔn)確控制膜的厚度(如果使用得當(dāng))。
精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學(xué)厚度的監(jiān)測(cè)。optimalswa-i-05單一波長(zhǎng)的光學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機(jī)先進(jìn)的光學(xué)監(jiān)測(cè)軟件結(jié)合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。艾明坷科技有限公司主營(yíng)手套箱,如需了解更多詳情,歡迎與我們交流。