相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

凈化車間內(nèi)的噪聲級(jí)，應(yīng)符合下列要求：一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，凈化車間內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過70分貝A。二、空態(tài)測(cè)試時(shí)，亂凈化車間內(nèi)的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A;層流凈化車間內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65分貝A。 注：(1)由于技術(shù)經(jīng)濟(jì)條件限制，或噪聲大于70分貝A對(duì)生產(chǎn)無(wú)影響時(shí)，噪聲級(jí)可適當(dāng)放寬，但不宜大于75分貝A;(2)上述噪聲級(jí)是指在室內(nèi)每一個(gè)工作點(diǎn)人耳位置(人離開)的測(cè)量值。對(duì)于變動(dòng)噪聲，則取相同位置處在一個(gè)正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級(jí)。a、噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲太級(jí);各頻帶聲壓級(jí)值不宜大于1的規(guī)定。b、平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。c、各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。d、凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。除事故排風(fēng)外，應(yīng)對(duì)潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。e、凈化車間的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級(jí)的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用：(1)總風(fēng)管為6～10米/秒。(2)無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為6～8米/秒。 (3)有送、回風(fēng)口的大風(fēng)管為3～6米/秒。

凈化工程要操控溫濕度詳細(xì)有啥辦法？ 但是關(guān)于大多數(shù)潔凈空間，為了避免外界污染侵入，需求堅(jiān)持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的保持通常應(yīng)契合以下準(zhǔn)則：1.潔凈度等級(jí)高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級(jí)低的空間的壓力。2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度等級(jí)高的房間。3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。壓力差的保持依托新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理含義即是漏泄（或浸透）風(fēng)量經(jīng)過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

無(wú)塵室的平面裝備幾種方法：1.外廊盤繞式：外廊能夠有窗或無(wú)窗，以兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，而通常選用10萬(wàn)級(jí)和外窗有必要是雙層密封窗。2.內(nèi)廊盤繞式：無(wú)塵室設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度等級(jí)通常需較高，乃至和無(wú)塵室同樣的等級(jí)，此外無(wú)塵室設(shè)在外圍時(shí)，需注意并無(wú)外窗設(shè)置。3.兩頭式：無(wú)塵室設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用居室。4.基地式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠?qū)o(wú)塵區(qū)設(shè)在基地，上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái)，削減與外氣的熱交換。