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電子制造業(yè)潔凈室的特點(diǎn)
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類(lèi)潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。用高度凈化的空氣把車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋?zhuān)凶龇菍恿鞣绞剑▉y流方式)。
這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。支風(fēng)管從主風(fēng)管下來(lái)送新風(fēng)到循環(huán)風(fēng)機(jī)前面和回風(fēng)混合后經(jīng)潔凈室吊頂上的HEPA效過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室。
電子行業(yè)潔凈廠房的結(jié)構(gòu)
在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,環(huán)境溫濕度、潔凈度及壓力梯度會(huì)對(duì)電子產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生較大的影響。因此,電子行業(yè)潔凈廠房要具備良好的絕熱性與密閉性,這也反應(yīng)在電子行業(yè)潔凈廠房的結(jié)構(gòu)上。首先,電子行業(yè)潔凈廠房的結(jié)構(gòu)一定要盡可能的緊密,結(jié)構(gòu)中的間隙會(huì)為空氣對(duì)流提供便利,影響電子行業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)的溫度及壓力梯度控制;其次,電子行業(yè)潔凈廠房的選材和結(jié)構(gòu)要盡可能達(dá)到良好的絕熱效果,比如以聚氨酯、鋁蜂窩、聚苯、紙蜂窩等作為夾心層的結(jié)構(gòu),可以起到很好的絕熱效果;組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、出校過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。另外,電子行業(yè)潔凈廠房的周?chē)€可以加裝夾心彩鋼板,起到防塵和絕熱的作用。
這樣的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)可以很好的阻止電子行業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)外的熱對(duì)流和熱傳導(dǎo),為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供良好的環(huán)境。電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程對(duì)于溫濕度的精度要求十分高,產(chǎn)品的質(zhì)量對(duì)溫濕度的變化也非常敏感,因此,除了一個(gè)良好的絕熱密閉環(huán)境外,電子行業(yè)中建南方環(huán)境潔凈廠房還要配備靈敏的溫濕度及壓力梯度控制設(shè)備及自控系統(tǒng)。裝有一般空調(diào)系統(tǒng)的潔凈室,室內(nèi)空氣的活動(dòng)歸于非層流(紊流),既可使空氣中夾藏的混懸粒子敏捷混合,也可使室內(nèi)停止的微粒從頭飛揚(yáng),有些空氣還可出現(xiàn)阻滯狀況。
無(wú)論是電子廠凈化車(chē)間內(nèi)部還是外界環(huán)境,在錯(cuò)誤的時(shí)間地點(diǎn)出現(xiàn)的物質(zhì)(固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、生物菌毒)物理的(靜電微震、電磁波、輻射)等危險(xiǎn)因素,對(duì)人和外界環(huán)境動(dòng)植物會(huì)造成很大危害。電子廠凈化車(chē)間的特點(diǎn):電子廠凈化車(chē)間等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外電子廠凈化車(chē)間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠凈化車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子廠凈化車(chē)間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。1、萬(wàn)級(jí)電子廠凈化車(chē)間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。2、電子廠凈化車(chē)間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。3、電子廠凈化車(chē)間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。4、電子廠凈化車(chē)間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值:(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。(2)保證供給電子廠凈化車(chē)間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。(3)電子廠凈化車(chē)間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)大值:保證凈化車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;向電子制造廠潔凈室內(nèi)給的新鮮空氣量。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
電子無(wú)塵車(chē)間,尤其是十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間常用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造;較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng);液壓或氣壓系統(tǒng)的制造;食品飲料的生產(chǎn);凈化空調(diào)系統(tǒng)是電子行業(yè)潔凈廠房中的重要電氣設(shè)施,是控制室內(nèi)溫濕度、氣流風(fēng)速和壓力梯度的關(guān)鍵系統(tǒng),系統(tǒng)中的過(guò)濾器更是承擔(dān)著除塵的重要任務(wù)。工業(yè)。對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì),應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案。電子無(wú)塵車(chē)間凈化方案一:組合式空氣處理機(jī)組 冷水機(jī)組 送風(fēng)口。
這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、出校過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn):
建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);一般可以適用于潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。