流量控制器基本原理

通過測(cè)量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。氣體通過的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設(shè)備響應(yīng)速度，比如：從設(shè)定值的10%到達(dá)90%所需要的時(shí)間。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。

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使用流量控制器害怕什么?

怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器, 造成測(cè)量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過濾器;

怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì)造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;

怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理;

怕在使用強(qiáng)腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。正確使用, 安全操作, 對(duì)每個(gè)用戶都是重要的。

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如何提高流量控制器的準(zhǔn)確度？

提高氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)用準(zhǔn)確度的措施為：

1.針對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際工藝參數(shù)，對(duì)該流量計(jì)進(jìn)行“個(gè)性化標(biāo)準(zhǔn)”，從而實(shí)現(xiàn)在實(shí)際使用流量點(diǎn)的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際測(cè)量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。

2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動(dòng)等對(duì)該流量計(jì)使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量準(zhǔn)確度的影響。

4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。

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