主動(dòng)式掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)

掃描測(cè)量率高達(dá)500點(diǎn)/秒。

數(shù)據(jù)采集測(cè)力可調(diào)(50-1000mN)

ZEISS VAST XT gold：探針：長度=500mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS VAST gold：探針：=800mm，重=600g（含吸盤），探針直徑=0.3mm。

ZEISS VAST XTR gold：探針：長度（固定）=500mm，長度（旋轉(zhuǎn)）=350mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS DotScan

測(cè)量范圍 1 mm 2)

配備共聚焦白光測(cè)距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA

掃描測(cè)量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。

工作距離：10,5mm ,分辨率28nm

可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

測(cè)量范圍 3 mm 2)

工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，

可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm

SPECTRUM的測(cè)頭系統(tǒng)可以通過兩個(gè)方向360度的自由旋轉(zhuǎn)和5度的步距角實(shí)現(xiàn)5184個(gè)空間角度位置的測(cè)量；并且其配備蔡司獨(dú)有的RDS-CAA技術(shù)，僅需一次校準(zhǔn)，即可使用全部5184個(gè)角度位置，大大減少了探針校準(zhǔn)時(shí)間，從而大幅提高了測(cè)量效率。值得一提的是，SPECTRUM擁有廣泛的應(yīng)用，如小型外殼、沖壓件、數(shù)控加工零件及塑料件的檢測(cè)，此外在和電子行業(yè)也可滿足差異化的檢測(cè)需求。