物理式凈化方式1.吸附性過濾—活性炭　活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力2.機(jī)械性過濾—HEPA網(wǎng)　HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思為空氣過濾器，達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾網(wǎng)，對(duì)于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%，HEPA網(wǎng)的特點(diǎn)是空氣可以通過，但細(xì)小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成，形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質(zhì)。食品加工車間凈化，化驗(yàn)室檢驗(yàn)室，醫(yī)院，食用菌養(yǎng)殖廠除i菌凈化等。

另外對(duì)于低級(jí)別潔凈室之間，如萬級(jí)和10萬級(jí)潔凈室之間，不一定非要設(shè)置緩沖室，有些場(chǎng)合，三更的設(shè)置也是可以考慮的。緩沖間的設(shè)置主要是通過進(jìn)出兩門的不同時(shí)開啟起到氣閘的隔離作用，如果嚴(yán)格管理，一些輔助房間如二更等，完全可以起到緩沖作用。另外，在10萬級(jí)和萬級(jí)房間也沒有一定設(shè)置緩沖的必要。10萬級(jí)房間和萬級(jí)房間內(nèi)的空氣含塵濃度不象一些非專業(yè)人士想象的那樣相差10倍，門一開啟就會(huì)污染。首先，不同類型的生物潔凈室必須遵循相應(yīng)的規(guī)范要求，不了解這些規(guī)范，是無法進(jìn)行設(shè)計(jì)施工的。

世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。209E與209D等z大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。凈化車間供水與排水設(shè)施：凈化車間內(nèi)生產(chǎn)用水的供水管應(yīng)采用不易生銹的管材，供水方向應(yīng)逆加工進(jìn)程方向，即由清潔區(qū)向非清潔區(qū)流。

鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品，能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。

使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。

半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。

對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施為有效。