從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來(lái)分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對(duì)材料進(jìn)行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進(jìn)行優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，相輔相成。從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來(lái)分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。當(dāng)前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級(jí)上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。

由于超精密加工的精度等級(jí)和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測(cè)手段，才能驗(yàn)證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。在精密超精密加工和測(cè)量中，對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測(cè)量誤差比加工誤差高一個(gè)數(shù)量級(jí)。1981年美國(guó)IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。目前，超精密測(cè)量?jī)x正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測(cè)量元件；美國(guó)HP、zygo、英國(guó)Taylor等公司的測(cè)量?jī)x器均可以滿足納米測(cè)量的需求。