相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室周?chē)諝庵械耐獗矶己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無(wú)塵車(chē)間對(duì)潔凈室的需要以及對(duì)無(wú)塵車(chē)間潔凈度的要求，取決于潔凈室內(nèi)工藝的性質(zhì)。在這方面，將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護(hù)水平，連同其它所有組成部分對(duì)潔凈度的整個(gè)要求一并考慮，是非常關(guān)鍵的。以現(xiàn)實(shí)的觀點(diǎn)看，保證對(duì)一個(gè)特定環(huán)境有充分的污染控制，就必須控制室內(nèi)換氣次數(shù)，控制室內(nèi)溫、濕度，控制與相鄰房間的壓差，控制室內(nèi)粒子濃度，控制房間使用的建筑材料與設(shè)備，控制微生物的數(shù)量，控制所用服裝的污染水平及通風(fēng)過(guò)濾器的數(shù)量。需要通盤(pán)考慮的其他因素有：人員的衛(wèi)生、設(shè)備選項(xiàng)、ren流及物流的通道。


凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿(mǎn)意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超越25度。