全自動(dòng)掃描電鏡對(duì)樣品的要求

1、試樣在高真空中能保持穩(wěn)定；

2、表面受到污染的試樣，要在不破壞試樣表面結(jié)構(gòu)的前提下進(jìn)行適當(dāng)清洗，然后烘干。新斷開(kāi)的斷口或斷面，一般不需要進(jìn)行處理，以免破壞斷口或斷面的結(jié)構(gòu)狀態(tài)；

　　有些試樣的表面、斷口需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)那治g，才能暴露某些結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，則在侵蝕后應(yīng)將表面或斷口清洗干凈，然后烘干。

3、全自動(dòng)掃描電鏡用的試樣大小要適合儀器樣品座的尺寸，不能過(guò)大，樣品座尺寸各儀器不均相同，以分別用來(lái)放置不同大小的試樣，樣品的高度也有一定的限制。

掃描電鏡對(duì)樣品的要求

　　(1)樣品必須是無(wú)毒、無(wú)性的物質(zhì)，以保證工作人員的人身安全；

　　(2)樣品可以是塊狀、片狀、纖維狀，也可以是顆?；蚍勰?，無(wú)論是什么樣的樣品都不能是有機(jī)揮發(fā)物和含有水分，如果將含有水分的樣品放在鏡筒內(nèi)能產(chǎn)生2種嚴(yán)重不良后果：一是當(dāng)真空達(dá)不到要求強(qiáng)行通高壓時(shí)，其產(chǎn)生的水蒸汽遭遇高能電子生電離而放電引起束流大幅度波動(dòng)，使所成的像模糊，或根本不能成像；二是造成鏡筒污染；三是損壞燈絲，當(dāng)高能電壓通過(guò)燈絲時(shí)，溫度高達(dá)2000Ο，碰到水蒸汽而氧化變質(zhì)或熔斷，因此，應(yīng)先烘干樣品中的水分；

　　(3)無(wú)論是塊狀樣品，還是粉末顆粒狀樣品，其化學(xué)、物理性質(zhì)要穩(wěn)定，在高真空中的電子束照射下，都要能保持成分穩(wěn)定和形態(tài)不變；

　　(4)表面受到污染的樣品，要在不破壞樣品表面結(jié)構(gòu)的前提下，進(jìn)行適當(dāng)清洗、烘干；

　　(5)無(wú)論是樣品的表面，還是樣品新斷開(kāi)的斷口或斷面，一般不需要進(jìn)行處理，以保持全自動(dòng)掃描電子顯微鏡原始的結(jié)構(gòu)狀態(tài)；

全自動(dòng)掃描電鏡可以放大檢測(cè)物體

　全自動(dòng)掃描電鏡是一款使用高亮度CeB6燈絲的高分辨臺(tái)式掃描電鏡。放大倍數(shù)30,000倍，用于觀察亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。Pure具有全自動(dòng)操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點(diǎn)，適用于傳統(tǒng)大電鏡待測(cè)樣品的快速篩選，也適合于光學(xué)顯微鏡的分辨率無(wú)法滿足需求的客戶。

　　臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡產(chǎn)品參數(shù)

　　光學(xué)顯微鏡：放大20-135倍

　　電子顯微鏡：200-500,000倍

　　探測(cè)器：背散射電子探測(cè)器；二次電子探測(cè)器；能譜探測(cè)器

　　電子源：肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源

　　分辨率：優(yōu)于2.5nm@15kV

　　放置環(huán)境：采用防震設(shè)計(jì)，可擺放于普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房

　　加速電壓：2kV-15kV連續(xù)可調(diào)

　　全自動(dòng)掃描電鏡采用熱場(chǎng)發(fā)射電子源，信噪比高，使用壽命長(zhǎng)，保證長(zhǎng)期穩(wěn)定的性能。臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡能譜一體機(jī)標(biāo)配背散射電子成像、二次電子電子成像和能譜分析功能，可對(duì)各種樣品進(jìn)行高分辨成像及元素分析。

全自動(dòng)掃描電子顯微鏡是生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵設(shè)備

全自動(dòng)掃描電子顯微鏡是一款全自動(dòng)、無(wú)損顯微分析系統(tǒng)，可針對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)材料和部分有機(jī)材料，迅速提供在統(tǒng)計(jì)學(xué)上可靠且可重復(fù)的礦物學(xué)、巖相學(xué)和冶金學(xué)數(shù)據(jù)，在業(yè)，全自動(dòng)掃描電子顯微鏡可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和行業(yè)，對(duì)鉆井巖屑和巖心試樣進(jìn)行顯微分析，從而降低風(fēng)險(xiǎn)并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動(dòng)分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

由于高能電子與物質(zhì)的相互作用，結(jié)果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因?yàn)閺脑嚇又兴玫礁鞣N信息的強(qiáng)度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)，因此，通過(guò)接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進(jìn)行晶體學(xué)分析或成分分析。

在全自動(dòng)掃描電子顯微鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來(lái)象的反差的變化，焊接開(kāi)裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。