真空機(jī)組將前級泵中的工作液改為油時(shí)，可以有效地提高羅茨真空機(jī)組的極限真空度（見參數(shù)表），羅茨油環(huán)機(jī)組為閉路循環(huán)系統(tǒng)，可減少污染，節(jié)約水源。羅茨油環(huán)真空機(jī)組廣泛應(yīng)用于真空浸漬、真空干燥、真空除氣等工藝中。

真空機(jī)組選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)候更為明顯。在選擇真空機(jī)組時(shí)，一般需要真空機(jī)組的極限真空度要高于工作真空度半個到一個數(shù)量級以上才能達(dá)到使用要求，即工作壓力≥極限壓力×（5~10）為宜。那是因?yàn)檎婵毡锰计怯惺牧现谱鞫傻?，所以真空泵碳片又可簡稱為石墨碳片。